電子廠廢氣處理的辦法

電子廠廢氣成分：

電子工業(yè)廢氣VOCs的排放，對大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的損害都較大，對該類污染物進(jìn)行有用操控和管理問題也益發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈區(qū)分，自上而下分為電子整機(jī)產(chǎn)品、電子根底產(chǎn)品和電子資料三個(gè)層次。其間包括：電子資料、半導(dǎo)體器材、電子元件及印制電路板、光電器材和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。

電子工業(yè)是VOCs排放的職業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放品種有30多種，組分雜亂。電子工業(yè)廢氣VOCS來源于對電子產(chǎn)品的外表涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用溶劑所造成的。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的品種有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。

一般來說，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝進(jìn)程中廢氣具有排放流量大(一般大于11000m3/h)和濃度低(一般小于25ppmv)的特色，電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。

揮發(fā)性物(VOCs)排放量大、濃度低、成分雜亂，常見廢氣管理辦法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單罕見運(yùn)用或無法達(dá)到經(jīng)濟(jì)運(yùn)轉(zhuǎn)，或不能滿意苛刻的排放規(guī)范。

電子廠廢氣處理辦法

（1）預(yù)處理階段：一般選用噴淋塔先對廢氣進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的氣體。

（2）處理階段：在此階段，比較常見而有用辦法有：UV光解，生物過濾分化，焚燒和催化焚燒等。

這幾種辦法各有好壞，依據(jù)都電子廠廢氣的狀況，在這里咱們引薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化焚燒體系去除VOCs氣體的計(jì)劃。

活性炭濃縮+催化焚燒法簡介

（1）活性炭濃縮

即選用活性炭吸附設(shè)備來對廢氣進(jìn)行濃縮。因?yàn)殡娮訌S廢氣具有風(fēng)量大，濃度低的特色，而催化焚燒體系在發(fā)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，對動(dòng)力的耗費(fèi)較大，假如預(yù)處理后的氣體先經(jīng)過活性炭吸附抵達(dá)濃度后，再進(jìn)入催化焚燒體系，相對于直接進(jìn)入催化焚燒體系，將可以節(jié)省動(dòng)力的耗費(fèi)?；钚蕴课狡饔挚煞Q為活性炭吸附器、活性炭吸附過濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過濾吸附異味的環(huán)保設(shè)備產(chǎn)品，活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等原料制造?；钚蕴课剿哂形?、適用面廣、保護(hù)便利、能一起處理多種混合廢氣等長處，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等氣體和除臭等效果。廢氣氣體由風(fēng)機(jī)供給動(dòng)力，正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附器塔體，因?yàn)榛钚蕴抗腆w外表上存在著未平衡和未飽滿的分子引力或化學(xué)健力，因而當(dāng)此固體外表與氣體觸摸時(shí)，就能招引氣體分子，使其濃聚并保持在固體外表，污染物質(zhì)然后被吸附，活性炭吸附到時(shí)刻后，即可進(jìn)入脫附流程，脫附后的氣體便是濃縮后的vocs氣體

（2）蓄熱式催化焚燒體系(RCO)

催化焚燒是典型的氣—固相催化反響，它憑借催化劑下降了反響的活化能，使其在較低的起燃溫度200～ 300℃下進(jìn)行無焰焚燒，物質(zhì)氧化發(fā)生在固體催化劑外表，一起發(fā)生CO2和H2O，并放出很多的熱量，因其氧化反響溫度低，所以地按捺了空氣中的N2構(gòu)成高溫NOx。并且因?yàn)榇呋瘎┯羞x擇性催化效果，有或許約束燃猜中含氮化合物(RNH)的氧化進(jìn)程，使其大都構(gòu)成分子氮(N2)。蓄熱式催化焚燒，相對于一般的催化焚燒設(shè)備，增加了熱量循環(huán)設(shè)備，設(shè)備發(fā)動(dòng)時(shí)刻后，可下降對電量的耗費(fèi)，為工廠省下很多的電費(fèi)。